| 专利名称: | 一种等离子体沉积装置及沉积方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2019.1.30 |
| 专利号: | 2019100950204 |
| 第一发明人: | 邵涛,张鹏浩,孔飞,章程,严萍 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |
一种等离子体沉积装置及沉积方法
| 专利名称: | 一种等离子体沉积装置及沉积方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2019.1.30 |
| 专利号: | 2019100950204 |
| 第一发明人: | 邵涛,张鹏浩,孔飞,章程,严萍 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |