| 专利名称: | 一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2020.2.28 |
| 专利号: | 2020101278062 |
| 第一发明人: | 王岩、邓晨晖、赵伟霞、殷伯华、刘俊标、韩立 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |
一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法
| 专利名称: | 一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2020.2.28 |
| 专利号: | 2020101278062 |
| 第一发明人: | 王岩、邓晨晖、赵伟霞、殷伯华、刘俊标、韩立 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |