| 专利名称: | 一种用来在衬底上沉积半导体材料的装置 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2020.09.08 |
| 专利号: | 202021936957.4 |
| 第一发明人: | 刘向鑫 张玉峰 林新璐 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |
一种用来在衬底上沉积半导体材料的装置
| 专利名称: | 一种用来在衬底上沉积半导体材料的装置 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | |
| 申请日期: | 2020.09.08 |
| 专利号: | 202021936957.4 |
| 第一发明人: | 刘向鑫 张玉峰 林新璐 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | |
| 其它备注: | |